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前沿交叉学科研究院成功研制大型多源等离子体镀膜系统

发布时间:2020-06-17作者:出处:前沿交叉学科研究院责任编辑:前沿交叉学科研究院


 齐鲁工业大学前沿交叉学科研究院王守国教授团队研制成功了大型多源等离子体(包含射频等离子体,离子源,直流电弧,直流偏压,磁控等离子体)真空复合镀膜装备。该真空设备的等离子体总功率已经超过100kW,真空室的尺寸为直径70cm,高90cm。该系统实现了全自动远程遥控操作,可以在刀具、模具及关键零部件上镀各种超硬涂层目前国内外最先进的真空等离子体装备。该设备可以提供各种镀膜服务,如WC微钻表面超硬TaC/DLC复合涂层,氮铝钛涂层模具表面DLC涂层,人工骨关节DLC涂层等,也可用于制备原子层沉积的单质或杂化材料



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